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GB/T 43661-2024 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

标准号
GB/T 43661-2024
下载格式
PDF
发布日期
2024-10-01
实施日期
2024-03-15
标准类别
国家标准
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简介

标准编号:GB/T 43661-2024

标准名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

标准类型:推荐性

标准英文:Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

标准状态:即将实施

发布日期:2024-10-01

实施日期:2024-03-15

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:化工技术

国内标准分类号:G04

国际标准分类:71.040.40

技术归口:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准类别:方法

代替标准:

起草单位:中山大学暨南大学 广东工业大学

起草人:龚力 杨慕紫 谢伟广 谢方艳 陈瑜张浩丁喜冬陈建

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