标准编号：DB53/T 501-2013
标准名称：多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
所属地方：云南省
标准状态：废止
发布日期：2013-07-31
实施日期：2013-09-30
标准语言：中文
发布部委：云南省质量技术监督局
国内标准分类号：G 10
国际标准分类：71.040.40
技术归口：云南省质量技术监督局
标准类别：方法标准
代替标准：
起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司
起草人：赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月