标准编号：SJ/T 11502-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
标准状态：现行
发布日期：2015-04-29
实施日期：2015-09-30
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：H83
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等