标准编号：GB/T 30116-2013
标准名称：半导体生产设施电磁兼容性要求
标准类型：推荐性
标准英文：Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
标准状态：现行
发布日期：2014-04-15
实施日期：2013-12-17
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：
国内标准分类号：L95
国际标准分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院 安徽鑫阳电子有限公司
起草人：黄英华 谭建国 钟华 冯亚彬 刘军周历群