标准编号：GB/T 15872-2013
标准名称：半导体设备电源接口
标准类型：推荐性
标准英文：Power supply interface for semiconductor equipment
标准状态：现行
发布日期：2014-05-15
实施日期：2013-12-17
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L23
国际标准分类：31.220.10
技术归口：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
标准类别：产品
代替标准：GB/T 15872-1995
起草单位：中国人民解放军空军雷达学院 工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：朱忠尼 亓迎川 梅昌义祁承超