标准编号：GB/T 31225-2014
标准名称：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
标准状态：现行
发布日期：2015-04-15
实施日期：2014-09-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：计量学和测量、物理现象
国内标准分类号：J04
国际标准分类：17.040.01
技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：上海交通大学 纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：金承钰 李威 何丹农 张冰 梁齐路庆华