标准编号：GB/T 31351-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
标准类型：推荐性
标准英文：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行
发布日期：2015-09-01
实施日期：2014-12-31
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：冶金
国内标准分类号：H26
国际标准分类：77.040.99
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司 中国科学院物理研究所
起草人：陈小龙 郑红军 刘振洲 张玮郭钰