标准编号：GB/T 31470-2015
标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
标准类型：推荐性
标准英文：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
标准状态：现行
发布日期：2016-01-01
实施日期：2015-05-15
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：计量学和测量、物理现象
国内标准分类号：N26
国际标准分类：17.220.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心苏州晶瑞化学有限公司 中国电子技术标准化研究院 天津中环领先材料技术有限公司
起草人：李雨辰 何秀坤 李翔 刘筠刘兵