标准编号：GB/T 31987-2015
标准名称：电子工业用气体 锗烷
标准类型：推荐性
标准英文：Gas for electronic industry—Germane
标准状态：现行
发布日期：2016-05-01
实施日期：2015-09-11
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院 佛山市华特气体有限公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
起草人：方华 裴友宏 陈熔 周鹏云 郭秀丽林宇巍