标准编号:GB/T 44796-2024
标准名称:集成电路三维封装 带凸点圆片划片工艺过程和评价要求
标准类型:推荐性
标准英文:Integrated circuit 3D packaging—Requirement for bumping-wafer-sawing process and evaluation
标准状态:即将实施
发布日期:2025-05-01
实施日期:2024-10-26
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电子学
国内标准分类号:L55
国际标准分类:31.200
技术归口:全国集成电路标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部(电子)
标准类别:基础
代替标准:
起草单位:中国电子科技集团公司第五十八研究所 神州龙芯智能科技有限公司
起草人:袁世伟 李守伟 任云飞 郑卫华 吉勇印琴
SAGB/T 44796—2024目次前言··1范围·…·.2规范性引用文件3术语和定义·一般要求····44.1设备、仪器和工装夹具4.2材料·4.3一般注意事项::5详细要求:5.1個环境頭:5.2典型工艺流程·5.3 工艺准备5.4贴膜題··5.5揭保护膜膚5.6烘片(必要时)5.7激光预切(必要时)划片5.85.9清洗園:·5.10)紫外解胶(必要时)··5.11衛标识、转运和贮存5.12適包装·······.·.5.13國记录·….·.6评价要求」6.1贴保护膜的评价要求(必要时)6贴划片膜的评价要求6.26.3/揭保护膜的评价要求激光预切的评价要求6.46.5划片的评价要求6.6元清洗的评价要求