标准编号：GB/T 20176-2025
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
标准类型：推荐性
标准英文：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准状态：即将实施
发布日期：2026-01-01
实施日期：2025-06-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G 04
国际标准分类：71.040.40
技术归口：全国表面化学分析标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
标准类别：方法
代替标准：GB/T 20176-2006
起草单位：清华大学中国人民公安大学 中国矿业大学（北京） 北京大学
起草人：李展平 郭冲 刘婕 刘兆伦 马静怡 张硕 吴美璇 和平王富芳孙令辉李芹周凌刘可心