标准编号:SJ/T 11637-2016
标准名称:电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
标准状态:现行
发布日期:2016-10-21
实施日期:2016-12-31
标准语言:中文
发布部委:工业和信息化部
行业分类:电子
所属部委:工业和信息化部
国内标准分类号:L90
国际标准分类:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:工业和信息化部
行业标准:无
制修订:制定
代替标准:
起草单位:杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人:尹云航、陈玉英、周利超 等