标准编号:SJ/T 11634-2016
标准名称:电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法
标准状态:现行
发布日期:2016-04-04
实施日期:2016-08-31
标准语言:中文
发布部委:工业和信息化部
行业分类:电子
所属部委:工业和信息化部
国内标准分类号:L90
国际标准分类:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:工业和信息化部
行业标准:无
制修订:制定
代替标准:
起草单位:杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人:陈玉英、尹云舰、黄德新 等