标准编号：SJ/T 11576-2016
标准名称：喷雾式涂覆设备通用规范
标准状态：现行
发布日期：2016-01-14
实施日期：2016-05-31
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：L95
国际标准分类：31.550
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：贺立波、徐春旭、汪明波 等