标准编号：SJ/T 11883-2022
标准名称：扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
标准状态：现行
发布日期：2022-10-19
实施日期：2022-12-31
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：L 97
国际标准分类：27.01
技术归口：中国电子技术标准化研究院
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
起草人：张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜