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SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

标准号
SJ/T 11517-2015
下载格式
PDF
发布日期
2015-04-29
实施日期
2015-09-30
标准类别
行业标准
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简介

标准编号:SJ/T 11517-2015

标准名称:电子工业用气体 一氧化碳

标准状态:现行

发布日期:2015-04-29

实施日期:2015-09-30

标准语言:中文

发布部委:工业和信息化部

行业分类:电子

所属部委:工业和信息化部

国内标准分类号:G86

国际标准分类:71.100.20

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门:工业和信息化部

行业标准:无

制修订:制定

代替标准:

起草单位:西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等

起草人:万华、王新鹏、吴平修 等

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