标准编号:SJ/T 11517-2015
标准名称:电子工业用气体 一氧化碳
标准状态:现行
发布日期:2015-04-29
实施日期:2015-09-30
标准语言:中文
发布部委:工业和信息化部
行业分类:电子
所属部委:工业和信息化部
国内标准分类号:G86
国际标准分类:71.100.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:工业和信息化部
行业标准:无
制修订:制定
代替标准:
起草单位:西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等
起草人:万华、王新鹏、吴平修 等