标准编号：SJ/T 11487-2015
标准名称：半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
标准状态：现行
发布日期：2015-04-29
实施日期：2015-09-30
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：H83
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：何秀坤、董彦辉、刘兵 等