JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准编号：JC/T 2133-2012

标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准状态：现行

发布日期：2012-12-27

实施日期：2013-05-31

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：建材

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：G14

国际标准分类：

技术归口：全国工业陶瓷标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人：陈奕睿、屈海云 等