YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

标准编号：YS/T 936-2013

标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材

标准状态：现行

发布日期：2013-10-16

实施日期：2014-02-28

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：有色金属

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H62

国际标准分类：77.150.40

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

起草人：董亭义、何金江 等