标准编号：JB/T 4081-2011
标准名称：真空技术 溅射离子泵
标准状态：现行
发布日期：2011-12-19
实施日期：2012-03-31
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：机械
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：J78
国际标准分类：
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：修订
代替标准：JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等