标准编号：YS/T 839-2012
标准名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
标准状态：现行
发布日期：2012-11-06
实施日期：2013-02-28
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：有色金属
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：H68
国际标准分类：77.120.99
技术归口：全国有色金属标准化中心
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
起草人：高英、武斌 等