标准编号:GB/T 24579-2009
标准名称:酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
标准类型:推荐性
标准英文:Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
标准状态:现行
发布日期:2010-06-01
实施日期:2009-10-30
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电气工程
国内标准分类号:H80
国际标准分类:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心 中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:褚连青 王奕 魏利洁