标准编号：GB/T 24580-2009
标准名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
标准类型：推荐性
标准英文：Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2010-06-01
实施日期：2009-10-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电气工程
国内标准分类号：H80
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：方法
代替标准：
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心 中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：马农农 何友琴 丁丽