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SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

标准号
SJ/T 11763-2020
下载格式
PDF
发布日期
2020-12-08
实施日期
2021-03-31
标准类别
行业标准
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简介

标准编号:SJ/T 11763-2020

标准名称:半导体制造设备人机界面规范

标准状态:现行

发布日期:2020-12-08

实施日期:2021-03-31

标准语言:中文

发布部委:工业和信息化部

行业分类:电子

所属部委:工业和信息化部

国内标准分类号:L 95

国际标准分类:31.55

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门:工业和信息化部

行业标准:无

制修订:制定

代替标准:

起草单位:北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人:付金生、冯亚彬、程朝阳 等

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