标准编号：SJ/T 11762-2020
标准名称：半导体设备制造信息标识要求
标准状态：现行
发布日期：2020-12-08
实施日期：2021-03-31
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：L 95
国际标准分类：31.55
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：无
制修订：制定
代替标准：
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等
起草人：冯亚彬、程朝阳、钟华 等