标准编号：GB/T 26251-2010
标准名称：氟及氟氮混合气
标准类型：推荐性
标准英文：Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
标准状态：现行
发布日期：2011-05-01
实施日期：2011-01-14
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司山东锐华氟业有限公司西南化工研究设计院 上海华爱色谱分析技术有限公司 核工业理化工程研究院
起草人：杜伟华 贺国武 李建浩李春晓