标准编号：GB/T 26250-2010
标准名称：电子工业用气体 砷化氢
标准类型：推荐性
标准英文：Gases for electronic industry - Arsine
标准状态：现行
发布日期：2011-05-01
实施日期：2011-01-14
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：西南化工研究设计院光明化工研究设计院 上海华爱色谱分析技术有限公司
起草人：孙福楠 方华 周鹏云庄鸿涛