标准编号：SJ/T 11707-2018
标准名称：硅通孔几何测量术语
标准状态：现行
发布日期：2018-02-08
实施日期：2018-03-31
标准语言：中文
发布部委：工业和信息化部
行业分类：电子
所属部委：工业和信息化部
国内标准分类号：L04
国际标准分类：31.02
技术归口：全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会
发布部门：工业和信息化部
行业标准：信息传输、软件和信息技术服务业
制修订：制定
代替标准：
起草单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所、天水华天科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十八研究所
起草人：侯芳、郁元卫、吴昊 等